激發過程：入射 X 射線（初級 X 射線）能量需大于樣品原子內殼層（如 K、L 層）電子的結合能，才能將電子擊出形成空穴。例如，K 層電子被擊出后，L 層電子會躍遷至 K 層，釋放的能量以熒光 X 射線形式輻射。

熒光特性：熒光 X 射線的能量具有元素性，滿足公式 \( E = h\nu = \frac \)（\( h \) 為普朗克常數，\( \nu \) 為頻率，\( c \) 為光速，\( \lambda \) 為波長），通過檢測能量或波長可定性判斷元素種類；熒光強度與元素含量正相關，是定量分析的基礎。二、核心公式

莫塞萊定律（定性核心）：描述元素原子序數（\( Z \)）與熒光 X 射線波長（\( \lambda \)）的關系，公式為：\( \sqrt} = K(Z - \sigma) \)

定量分析公式：熒光強度（\( I \)）與元素含量（\( w \)）的線性關系為：\( I = k \cdot w \cdot \frac \)